Z轴电容式加速度计专利登记公告

专利名称：Z轴电容式加速度计

摘要：本实用新型涉及一种Z轴电容式加速度计，其包括电容感应极板、驱动质量块以及连接梁。其中电容感应极板包括正电容感应极板和负电容感应极板，驱动质量块和电容感应极板相互分离，正电容感应极板和负电容感应极板分别位于驱动质量块的两侧。当驱动质量块转动时，电容感应极板通过连接梁随之转动。本实用新型涉及的Z轴电容式加速度计，通过采用驱动质量块和电容感应极板相互分离的设计，有效增大了电容感应极板相对于其转动轴的距离，从而有效提高测量Z轴方向加速度的灵敏度。

专利类型：实用新型专利

专利号：CN201020617239.0

专利申请（专利权）人：美新半导体（无锡）有限公司

专利发明（设计）人：蒋乐跃;周汉秦

主权项：一种Z轴电容式加速度计，其包括电容感应极板、驱动质量块，所述电容感应极板包括正电容感应极板和负电容感应极板，其特征在于：其还包括有连接梁，所述驱动质量块和电容感应极板相互分离，正电容感应极板和负电容感应极板分别位于驱动质量块的两侧；当驱动质量块转动时，所述电容感应极板通过所述连接梁随之转动。

专利地区：江苏