研磨单元以及研磨单元的研磨方法专利登记公告

专利名称：研磨单元以及研磨单元的研磨方法

摘要：本发明公开一种研磨单元，滚筒槽(10)的主体部(11)与盖部(12)具有互换性，可切实地进行盖部(12)向滚筒槽(10)的主体部(11)的固定和滚筒槽(10)向滚筒槽外壳(20)的固定。滚筒槽(10)具有将盖部(12)固定于主体部(11)的盖部固定部件(14)。滚筒槽外壳(20)包括：载置并保持滚筒槽(10)的托盘(21)、将滚筒槽(10)固定于托盘(21)的滚筒槽固定部件(22)、引导滚筒槽固定部件(22)使其能够沿水平方向移动的一对引导部(23)。滚筒槽固定部件(22)包括：按压滚筒槽(10)的按压部

专利类型：发明专利

专利号：CN201080002780.3

专利申请（专利权）人：新东工业株式会社

专利发明（设计）人：田中槙二;德升智宏;羽鸟左一郎;加岛慎也

主权项：一种研磨单元，是离心滚筒研磨装置所使用的研磨单元，其特征在于，包括：滚筒槽，其具有供被研磨部件和介质放入的主体部、和将该主体部密封的盖部；和滚筒槽外壳，其安装在离心滚筒研磨装置的公转圆盘上，具有保持所述滚筒槽的托盘、和将所述滚筒槽固定在所述托盘上的滚筒槽固定部件，所述滚筒槽固定部件具有按压部件，该按压部件构成为与所述盖部的外形形状相对应，能够将所述盖部向垂直下方按压。

专利地区：日本