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洁净室专利登记公告


专利名称:洁净室

摘要:提供一种洁净室,即使循环风量较少,也能够确保所需要的下降流的风速,并且能够简单地进行过滤器泄漏试验。洁净室(10)的洁净区(11)的被调温的清洁空气的排出口由多个平板喷嘴(20)形成。

专利类型:发明专利

专利号:CN201080025662.4

专利申请(专利权)人:株式会社朝日工业社

专利发明(设计)人:蕨野慎治;和气清隆;中村元彦;村山民树

主权项:一种洁净室,其特征在于,洁净区的被调温后的清洁空气的排出口由多个平板喷嘴形成。

专利地区:日本