洁净室专利登记公告
专利名称:洁净室
摘要:提供一种洁净室,即使循环风量较少,也能够确保所需要的下降流的风速,并且能够简单地进行过滤器泄漏试验。洁净室(10)的洁净区(11)的被调温的清洁空气的排出口由多个平板喷嘴(20)形成。
专利类型:发明专利
专利号:CN201080025662.4
专利申请(专利权)人:株式会社朝日工业社
专利发明(设计)人:蕨野慎治;和气清隆;中村元彦;村山民树
主权项:一种洁净室,其特征在于,洁净区的被调温后的清洁空气的排出口由多个平板喷嘴形成。
专利地区:日本
关于上述专利公告申明 : 上述专利公告转载自国家知识产权局网站专利公告栏目,不代表该专利由我公司代理取得,上述专利权利属于专利权人,未经(专利权人)许可,擅自商用是侵权行为。如您希望使用该专利,请搜索专利权人联系方式,获得专利权人的授权许可。