对时变的缺陷分类性能的监视专利登记公告

专利名称：对时变的缺陷分类性能的监视

摘要：公开了监视时变的分类性能的系统和方法。一种方法可包括但不限定于：从一个或更多个扫描检验工具接收指示一个或更多个样本的一种或更多种属性的一个或更多个信号；根据对从这一个或更多个扫描检验工具收到的一个或更多个信号应用一种或更多种分类规则来确定这一个或更多个样本的一种或更多种缺陷类型的种群；使用一个或更多个高分辨率的检验工具来确定这一个或更多个样本的这一种或更多种缺陷类型的种群；以及计算从应用到接收自这一个或更多个扫描检验工具的一个或更多个信号的一种或更多种分类规则的应用确定的一个或更多个样本的一种或更多种缺陷

专利类型：发明专利

专利号：CN201080030311.2

专利申请（专利权）人：克拉-坦科股份有限公司

专利发明（设计）人：P·休伊特;B·达菲;M·费利豪尔;T·托特泽赫;C·马赫

主权项：一种用于监视时变的缺陷分类性能的方法，包括：从一个或更多个扫描检验工具接收指示一个或更多个样本的一种或更多种属性的一个或更多个信号；根据对从所述一个或更多个扫描检验工具收到的所述一个或更多个信号应用一种或更多种分类规则来确定所述一个或更多个样本的一种或更多种缺陷类型的种群；使用一个或更多个高分辨率的检验工具来确定所述一个或更多个样本的所述一种或更多种缺陷类型的种群；以及计算从应用到接收自所述一个或更多个扫描检验工具的一个或更多个信号的一种或更多种分类规则的应用确定的一个或更多个样本的一种或更多种缺陷类型的

专利地区：美国