制造用于液晶显示器的阵列基板的方法专利登记公告

专利名称：制造用于液晶显示器的阵列基板的方法

摘要：本发明公开了一种制造用于液晶显示器的阵列基板的方法，包括在基板上形成铜基金属层，并以蚀刻剂组合物蚀刻该铜基金属层，因而形成栅配线；以及在半导体层上形成铜基金属层，并以蚀刻剂组合物蚀刻铜基金属层，因而形成源极/漏极电极。蚀刻剂组合物按组合物总重量计含有：A)5.0～25wt％的过氧化氢(H2O2)，B)0.01～1.0wt％的含氟化合物，C)0.1～5.0wt％的唑化合物，D)0.1～10.0wt％的由膦酸衍生物与其盐中所选出的一种或更多种化合物，E)余量为水。

专利类型：发明专利

专利号：CN201080037314.9

专利申请（专利权）人：东友FINE-CHEM股份有限公司

专利发明（设计）人：李铉奎;李友兰;郑敬燮;崔容硕;李石;尹暎晋

主权项：一种制造用于液晶显示器的阵列基板的方法，包含：a)在基板上形成栅配线；b)在包含所述栅配线的所述基板上形成栅绝缘层；c)在所述栅绝缘层上形成半导体层；d)在所述半导体层上形成源极/漏极电极；和e)形成与所述漏极电极连结的像素电极；其中，a)包含在所述基板上形成Cu基金属层，并使用蚀刻剂组合物蚀刻所述Cu基金属层，因而形成所述栅配线；d)包含在所述半导体层上形成Cu基金属层，并使用所述蚀刻剂组合物蚀刻所述Cu基金属层，因而形成源极/漏极电极；所述蚀刻剂组合物按所述组合物总重量计包含：A)5.0～25wt％的

专利地区：韩国