多层体的制造方法及多层体专利登记公告

专利名称：多层体的制造方法及多层体

摘要：本发明涉及一种多层体(100)的制造方法以及采用本方法所制造出的一种多层体(100)。在载体层(1)上和/或在其中构成一个装饰层(3)。装饰层(3)具有一个第一区(8)和一个第二区(9)。垂直于载体层(1)的平面观察，装饰层(3)在第一区(8)中具有一个第一透射率，在第二区(9)中具有一个大于第一透射率的第二透射率。一个待结构化的层(5)和一个可光敏化的抗蚀层被设置在载体层(1)的第一侧面(11)上。在穿过装饰层(3)曝光抗蚀层时，该装饰层(3)用作为曝光掩模。所述至少一个待结构化的层(5)和抗蚀层利用彼

专利类型：发明专利

专利号：CN201080038770.5

专利申请（专利权）人：雷恩哈德库兹基金两合公司

专利发明（设计）人：L·布雷姆;R·斯托布

主权项：一种多层体(100)的制造方法，其中：a)在具有第一侧面(11)和第二侧面(12)的载体层(1)上和/或之中构成包含第一区(8)和第二区(9)的单层或多层的装饰层(3)，其中，垂直于载体层(1)的平面观察，装饰层(3)在第一区(8)中具有一个第一透射率并且在第二区(9)中具有一个大于第一透射率的第二透射率，所述的两个透射率都是针对具有适合于光敏化的波长的电磁射线(7)而言的；b)将至少一个待结构化的层(5)设置在载体层(1)的第一侧面(11)上；c)将能利用所述电磁射线(7)实现光敏化的抗蚀层(6)如此地

专利地区：德国