具有嵌套的线性振荡地震元件的双轴抗震旋转速率传感器专利登记公告

专利名称：具有嵌套的线性振荡地震元件的双轴抗震旋转速率传感器

摘要：一种微机械旋转速率传感器，包括基板，其底面被校准为与笛卡尔坐标系统(x，y，z)的x-y平面平行，旋转速率传感器具有至少一个第一地震质量块(1)和第二地震质量块(2)，所述地震质量块被耦合到至少一个第一驱动装置(14)且被悬置，这样第一和第二地震质量块(2)被驱动，从而它们在一种驱动模式中被逆相偏移，旋转速率传感器被这样设计使得其可检测到绕着基本上互相正交的敏感轴(z，y)的旋转速率，其中至少第二地震质量块(2)是框的形式，其针对x-y平面上的位置至少部分地包围第一地震质量块(1)。

专利类型：发明专利

专利号：CN201080039683.1

专利申请（专利权）人：大陆-特韦斯贸易合伙股份公司及两合公司

专利发明（设计）人：S·甘特奈尔;J·洛曼;B·施密德;R·希瓦拉曼

主权项：一种微机械旋转速率传感器，包括基板，其底面被校准为与笛卡尔坐标系统(x，y，z)的x?y平面平行，旋转速率传感器具有至少一个第一地震质量块(1)和第二地震质量块(2)，所述地震质量块被耦合到至少一个第一驱动装置(14)且被悬置，这样第一和第二地震质量块(2)被驱动，使得它们在一种驱动模式中被逆相偏移，旋转速率传感器被这样设计使得其可检测绕着基本上互相正交的敏感轴(z，y)的旋转速率，其特征在于：至少第二地震质量块(2)是框的形式，其针对x?y平面上的位置至少部分地包围第一地震质量块(1)。

专利地区：德国