用于位置确定和表面测量的设备和方法专利登记公告

专利名称：用于位置确定和表面测量的设备和方法

摘要：根据本发明的实施例，提供了一种用于确定对象(25)在空间区域(28)中的位置的方法，其中，利用至少一个光束(22，27)照射所述对象(25)。光束(22，27)不覆盖整个空间区域(28)，并根据对象(25)的位置将光束引导到空间区域中对象(25)所处的部分中。根据本发明的另一方面，提供了一种用于表面测量的方法。

专利类型：发明专利

专利号：CN201080040371.2

专利申请（专利权）人：卡尔蔡司股份公司

专利发明（设计）人：伯恩德·斯普鲁克;克里斯蒂娜·阿尔瓦雷斯迪兹;西蒙·布拉特克;拉斯-克里斯琴·威蒂格;斯蒂芬·里克特;恩里科·盖斯勒;克里斯琴·库斯;奥利弗·施米特;弗兰克·霍勒

主权项：一种用于确定对象(25；33；191)在空间区域(28；31)中的位置的设备，包括：至少一个光源(3；30；51；126)，用于产生至少一个光束，引导装置(5，7；40；42；57，59；135；153；173，214)，用于将所述光束(22，27；35；151；171；211)引导到反射器，其中所述光束的形式被选择为使得所述光束(22，27；35；151；171；211)不覆盖所述反射器能够处于的完整区域，检测器装置(13，14；123)，用于检测从所述反射器反射的光束，评估装置(15；125，127；

专利地区：德国