基板处理系统、基板支架、基板支架对、基板接合装置及器件的制造方法专利登记公告

专利名称：基板处理系统、基板支架、基板支架对、基板接合装置及器件的制造方法

摘要：提供一种能在用一对基板支架层叠半导体基板时，抑制尘埃流入载置半导体基板的区域的基板处理系统。该基板处理系统具有使保持第1基板的第1基板支架和保持第2基板的第2基板支架相向来夹持第1基板和第2基板的基板支架系统、和保持基板支架系统的处理装置，在基板支架系统及处理装置的至少一方具有抑制尘埃向夹持第1基板和第2基板的区域流入的尘埃流入抑制机构。基板支架系统可以在任一基板支架上设置抑制尘埃向保持基板的区域流入的尘埃流入抑制机构。

专利类型：发明专利

专利号：CN201080041623.3

专利申请（专利权）人：株式会社尼康

专利发明（设计）人：菅谷功;长南纯一;前田荣裕;田中庆一;保多智之

主权项：一种基板支架，其中，具有：抑制尘埃流入保持基板的区域的尘埃流入抑制机构。

专利地区：日本