用于制造带有承载衬底上的结构元件的布置的方法和布置以及用于制造半成品的方法和半成品专利登记公告

专利名称：用于制造带有承载衬底上的结构元件的布置的方法和布置以及用于制造半成品的方法和半成品

摘要：本发明涉及用于制造带有在承载衬底(20)上的结构元件(22)的布置的方法，其中，该方法包括下列步骤：在顶衬底(3)的背侧上制造间隔元件(1)；在承载衬底(20)的顶面上布置结构元件(22)；并且在承载衬底(20)上布置在顶衬底(3)上形成的间隔元件(1)，以如下方式，即，将结构元件布置在至少一个空腔(23)中，并且将该空腔封闭。此外，本发明涉及布置、制造用于结构元件布置的半成品的方法、以及用于结构元件布置的半成品。

专利类型：发明专利

专利号：CN201080042820.7

专利申请（专利权）人：MSG里松格莱斯股份公司

专利发明（设计）人：于尔根·莱布;西蒙·毛斯;乌利·汉森

主权项：用于制造带有在承载衬底上的结构元件的布置的方法，其中，所述方法包括下列步骤：?在顶衬底的背侧上制造间隔元件，其中在此情况下，设置有下列步骤：?准备衬底；?在所述衬底的所选择的表面的区域中制造一个或多个凹陷部；?在所述衬底的所述所选择的表面上布置所述顶衬底，以如下方式，即，形成至少一个凹陷部空腔；和?从所述衬底的与所述所选择的表面方向相反的表面开始进行所述衬底的背部去薄，以如下方式，即，将至少一个所述凹陷部空腔敞开，并且因此形成分开的间隔元件，所述间隔元件连同所述顶衬底一起界定了至少一个空腔，所述至少一个空

专利地区：德国