切割基板的方法和用于切割的设备专利登记公告

专利名称：切割基板的方法和用于切割的设备

摘要：本发明涉及一种通过引入热机械张力来切割基板的方法。本发明还涉及通过指定的切割方法来精确制造基板形状。本发明还涉及一种用于执行根据本发明的方法的设备。

专利类型：发明专利

专利号：CN201080043212.8

专利申请（专利权）人：皮可钻机公司

专利发明（设计）人：恩里科·斯图拉;克里斯蒂安·施密特;米歇尔·林达

主权项：一种切割基板的方法，所述方法包括步骤：a)提供待切割的基板，b)借助于连接到AC电压源的一个或多个电极，通过以在1kHz～10GHz范围内的频率对所述基板的限定区域施加AC电压和电流，来对所述基板施加电能和热能，从而加热所述限定区域，c)冷却所述限定区域，d)其中，在步骤b)期间，通过下列方式使所述限定区域沿着基板表面上的路径移动：i)通过使所述电极相对于所述基板移动；ii)通过使所述基板相对于所述电极移动，或者iii)通过使所述电极和所述基板两者相对于彼此移动，并且其中，所述路径不是沿着所述基板的边缘，

专利地区：瑞士