微机械谐振器专利登记公告

专利名称：微机械谐振器

摘要：本发明涉及微机械谐振器，包括：第一材料(2)的基底(1)；悬挂至支承结构(1)的谐振器(3)，谐振器(3)至少部分地具有与支承结构的材料相同的材料(2)，并且形成用于以特定频率f0谐振的尺寸；用于启动、维持谐振器(3)的谐振并且将谐振器(3)的谐振耦接至外部电路(6)的耦接装置(5)；以及所述谐振器(3)包括有第二材料(4)，第二材料(4)的热性质不同于第一材料(2)的热性质。根据本发明，谐振器(3)包括集中位于所述谐振器(3)的特定位置的第二材料(4)。

专利类型：发明专利

专利号：CN201080043268.3

专利申请（专利权）人：VTT技术研究中心

专利发明（设计）人：阿尔内·奥亚;图奥马斯·彭萨拉;约翰纳·梅尔塔乌什

主权项：一种微机械谐振器，包括：第一材料(2)的支承结构(1)，谐振器(3)，所述谐振器(3)悬挂至所述支承结构(1)，所述谐振器(3)至少部分地具有与所述支承结构的材料相同的材料(2)并且形成用于以特定频率f0谐振的尺寸，耦接装置(5)，所述耦接装置(5)用于启动、维持所述谐振器(3)的谐振，并且将所述谐振器(3)的谐振耦接至外部电路(6)，以及所述谐振器(3)包括有第二材料(4)，所述第二材料(4)的热性质不同于所述第一材料(2)的热性质，其特征在于，所述谐振器(3)包括集中位于所述谐振器(3)的特定位置的所

专利地区：芬兰