低温泵专利登记公告

专利名称：低温泵

摘要：本发明提供一种可以防止在面板表面发生的凝缩体的剥离，保持稳定的排气动作的低温泵。本发明的实施方式涉及的低温泵(30)具有由冷冻机(32)冷却的低温面板(31)。所述低温面板的凝缩面(310)由边界部(沟部(310b))划分为多个独立的分割面(310a)。因此，某处分割面上产生裂纹时，通过边界部抑制裂纹向相邻的其他分割面的传播，从而可以使裂纹的产生区域停留于该分割面内。另外，凝缩面上的凝缩体的内部应力通过分散于各分割面而得到缓和，从而阻止分割面上的凝缩体的剥离。由此，可以防止由于凝缩体从凝缩面上的剥离及之后

专利类型：发明专利

专利号：CN201080043384.5

专利申请（专利权）人：爱发科低温泵株式会社;株式会社爱发科

专利发明（设计）人：铃木直人;增田行男;山口理

主权项：一种用于将真空室排气至目标压力的低温泵，其特征在于，包括：面板，具有使所述真空室内的需排气体凝缩的凝缩面，和形成于所述凝缩面上、将所述凝缩面划分为多个独立的分割面的边界部；以及冷冻机，可将所述面板冷却至所述目标压力下的所述气体的露点以下。

专利地区：日本