用于大量超高纯度氦供给和使用的方法及系统专利登记公告

专利名称：用于大量超高纯度氦供给和使用的方法及系统

摘要：本发明涉及用于可靠的超高纯度(UHP)氦气供给和保持专用现场库存的方法及系统。具体而言，本发明使用了多个ISO容器，由此备用ISO容器中汽化的UHP氦被用于在联机ISO容器中累积压力。ISO容器的隔热可用于减少进入备用ISO容器中的热泄漏，从而降低了氦汽化速率和需要收回来保持器皿的最大可允许工作压力(MAWP)的气体量。通过使用节约器阀抽取UHP氦气但使液体保持在ISO容器中，甚至更低的供给速率也是可能的。这使得有可能高效地管理供给速率(从低流动至较高流动要求)，并有可能优化UHP氦从储存器皿的抽取速率。

专利类型：发明专利

专利号：CN201080043979.0

专利申请（专利权）人：普莱克斯技术有限公司

专利发明（设计）人：T.R.舒尔特;J.J.贝尔恩;M.C.约翰逊;S.查克拉瓦蒂;K.贝杜-阿米萨

主权项：一种用于将超高纯度氦气输送至使用场所的方法，所述方法包括：提供包含低温超高纯度氦流体的至少一个主器皿，所述超高纯度氦流体包括超高纯度氦液体和超高纯度氦气；所述主器皿包括一个或多个壁部件，这样的一个或多个壁部件被构造成用以形成保持所述超高纯度氦液体和超高纯度氦气的内部器皿隔间；所述内部器皿隔间具有一个或多个真空绝缘层和一个或多个隔热层，所述一个或多个真空绝缘层和所述一个或多个隔热层在与所述一个或多个壁部件邻近的所述内部器皿隔间周边处彼此邻近对准；所述主器皿在主器皿顶部处或附近具有能将超高纯度氦气经由其注入所

专利地区：美国