用于制造发光二极管的方法专利登记公告
专利名称:用于制造发光二极管的方法
摘要:提出了一种制造发光二极管的方法,其具有下述步骤:-提供具有硅表面(1a)的支承衬底(1);-沿生长方向(R)在硅表面(1a)上沉积层序列(100),并且-将发光二极管结构(16)沉积到层序列(100)上,其中-层序列(100)包含以氮化镓形成的GaN层(5),-层序列包含以氮化硅形成的掩膜层(12),并且-掩膜层(12)沿生长方向(R)跟随GaN层(5)的至少一部分。
专利类型:发明专利
专利号:CN201080044047.8
专利申请(专利权)人:欧司朗光电半导体有限公司
专利发明(设计)人:彼得·施陶斯;菲利普·德雷克塞尔
主权项:用于制造发光二极管的方法,具有下述步骤:?提供具有硅表面(1a)的支承衬底(1);?沿生长方向(R)在所述硅表面(1a)上沉积层序列(100),并且?将发光二极管结构(16)沉积到所述层序列(100)上,其中?所述层序列(100)包含以氮化镓形成的GaN层(5),?所述层序列包含以氮化硅形成的掩膜层(12),并且?所述掩膜层(12)沿生长方向(R)跟随在所述GaN层(5)的至少一部分之后。
专利地区:德国
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