气体传感器元件及其制造方法专利登记公告

专利名称：气体传感器元件及其制造方法

摘要：本发明提供一种能够减少应力造成的感应部的变形的气体传感器元件及其制造方法。在具备具有开口部(5)的空洞部(7)的支承体(3)的表面(3A)上，设置具有内置加热器布线图案(19)并固定于支承体(3)的表面(3A)的固定部(15)以及位于开口部(5)上的非固定部(17)的基底绝缘层(9)。在基底绝缘层(9)的非固定部(17)的中央部(21)形成电极布线图案(27)和感应膜(31)。非固定部(17)构成中央部(21)以及连结中央部(21)与固定部(15)的多条连结部(23)。由基部(33)与延伸部(35)构成四

专利类型：发明专利

专利号：CN201080044605.0

专利申请（专利权）人：北陆电气工业株式会社

专利发明（设计）人：今村徹治;桑原大辅

主权项：一种气体传感器元件，其特征在于，具备：支承体，由单晶硅基板构成，该单晶硅基板具备在厚度方向上相对着的表面和背面，且具备空洞部，该空洞部至少具有在所述表面开口的开口部；基底绝缘层，层积下部绝缘层和上部绝缘层而构成，且具有背面被固定在所述支承体的所述表面上的固定部以及与所述固定部一体设置并位于所述支承体的所述开口部上的非固定部，所述下部绝缘层由氮化硅和氧化硅构成，所述上部绝缘层由氮氧化硅构成；加热器布线图案，形成在所述下部绝缘层与所述上部绝缘层之间，在所述非固定部的中央部内具有电加热器部；电极布线图案，形成在

专利地区：日本