用于调节半导体芯片的设备及使用该设备的测试方法专利登记公告
专利名称:用于调节半导体芯片的设备及使用该设备的测试方法
摘要:本发明提供一种用于调节半导体芯片的设备以及对应的测试方法。该设备包括:芯片温度控制装置(TE1、TE2、TE3),用于接收一个或多个半导体芯片(C)且包括底座主体(G),并且流体能够流过该底座主体(G)以进行温度控制,并且该底座主体(G)包括从该底座主体(G)的正面(VS)延伸至背面(RS)的相应数量的凹口(GA);相应数量的芯片接合基座(S),其插入所述凹口(GA)中与所述底座主体(G)热接触,并且在正面(VS)包括芯片接收区(SM)且在内部包括导线装置(D1、D2),所述导线装置被构造用于提供来自和/
专利类型:发明专利
专利号:CN201080044744.3
专利申请(专利权)人:ERS电子有限公司
专利发明(设计)人:克莱门斯·雷丁格
主权项:一种用于调节半导体芯片的设备,包括:芯片温度控制装置(TE1、TE2、TE3),用于接收一个或多个半导体芯片(C)且包括底座主体(G),并且流体能够流过该底座主体(G)以进行温度控制,并且该底座主体(G)包括从该底座主体(G)的正面(VS)延伸至背面(RS)的相应数量的凹口(GA);相应数量的芯片接合基座(S),所述芯片接合基座插入所述凹口(GA)中与所述底座主体(G)热接触,并且在正面(VS)包括芯片接收区(SM)且在内部包括导线装置(D1、D2),所述导线装置被构造用于提供来自和/或去往插入所述芯片接
专利地区:德国
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