石英坩埚及其制造方法专利登记公告
专利名称:石英坩埚及其制造方法
摘要:提供了一种石英坩埚及制造该石英坩埚的方法。所述石英坩埚用在单晶生长装置中。所述石英坩埚包括含有二氧化硅的内层,以及含有二氧化硅且设置在内层外侧以包围所述内层的外层,其中在所述外层的二氧化硅中添加有氮。
专利类型:发明专利
专利号:CN201080045290.1
专利申请(专利权)人:LG矽得荣株式会社
专利发明(设计)人:崔日洙;金奉佑;文智勋;金度延
主权项:一种单晶生长装置用石英坩埚,所述石英坩埚包括:含有二氧化硅的内层;以及含有二氧化硅且设置在所述内层外侧以包围所述内层的外层,其中在所述外层的所述二氧化硅中添加有氮。
专利地区:韩国
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