Bi-Ge-O型烧结体溅射靶及其制造方法以及光记录介质专利登记公告
专利名称:Bi-Ge-O型烧结体溅射靶及其制造方法以及光记录介质
摘要:一种Bi-Ge-O型烧结体溅射靶,含有铋(Bi)、锗(Ge)和氧(O),其特征在于,Bi与Ge的原子数比为0.57<(Bi/(Bi+Ge))<0.92,并且含有Bi12GeO20、Bi4Ge3O12和GeO2三相作为结晶相。本发明涉及Bi-Ge-O型烧结体溅射靶及其制造方法以及光记录介质,特别地提供在溅射时不产生靶的破裂,粉粒的产生少,可以稳定地制作高品质的薄膜,可以得到不产生记录位的错误的光记录介质的Bi-Ge-O型烧结体溅射靶及该靶的制造方法以及光记录介质。
专利类型:发明专利
专利号:CN201080045590.X
专利申请(专利权)人:吉坤日矿日石金属株式会社
专利发明(设计)人:奈良淳史
主权项:一种Bi?Ge?O型烧结体溅射靶,含有铋(Bi)、锗(Ge)和氧(O),其特征在于,Bi与Ge的原子数比为0.57<(Bi/(Bi+Ge))<0.92,并且含有Bi12GeO20、Bi4Ge3O12和GeO2三相作为结晶相。
专利地区:日本
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