晶圆检测装置专利登记公告

专利名称：晶圆检测装置

摘要：本发明提供一种能够准确地检测出晶圆的容纳状态的晶圆检测装置。该晶圆检测装置用于检测晶圆容纳容器(1)内的晶圆的容纳状态，该晶圆容纳容器(1)能够沿上下方向层叠容纳多张晶圆(W)，能够从前方使所容纳的晶圆出入该晶圆容纳容器(1)，其中，该晶圆检测装置具有：在上下方向上较长的纵长状的照明装置(3)，其用于对上述晶圆容纳容器(1)内的晶圆进行光照射；摄像装置(4)，来自该照明装置(3)的光照射到晶圆(W)而被晶圆(W)反射，其反射光入射到该摄像装置(4)；上述摄像装置(4)配置在上述晶圆容纳容器(1)的前侧，上

专利类型：发明专利

专利号：CN201080045740.7

专利申请（专利权）人：昕芙旎雅有限公司

专利发明（设计）人：安田克己;神垣敏雄;溝河巧

主权项：一种晶圆检测装置，其用于检测晶圆容纳容器内的晶圆的容纳状态，该晶圆容纳容器能够沿上下方向层叠容纳多张晶圆，并能够从前方使所容纳的晶圆出入该晶圆容纳容器，其特征在于，该晶圆检测装置具有：在上下方向上较长的纵长状的照明装置，其用于对上述晶圆容纳容器内的晶圆进行光照射；摄像装置，来自该照明装置的光照射到晶圆并被该晶圆反射，其反射光入射到该摄像装置；上述摄像装置配置在上述晶圆容纳容器的前侧，上述照明装置配置在上述摄像装置的左右两侧中的至少一侧。

专利地区：日本