用于气体流量控制的方法和设备专利登记公告

专利名称：用于气体流量控制的方法和设备

摘要：一种用于气体流量的自校准控制的方法和设备。一开始通过将节流装置的开放量控制到高精确度来设置气体流率，其中包含节流装置的设备设计使其能够实现高精确度。然后通过节流装置上游的压力下降速率来测量气体流率，如果需要，调节节流装置的开放量以获得精确的期望流量。

专利类型：发明专利

专利号：CN201080046178.X

专利申请（专利权）人：关键系统公司

专利发明（设计）人：A·J·蒙科夫斯基;J·M·查默斯;陈嘉陵;丁韬;J·R·蒙科夫斯基

主权项：一种用于控制流体流量的设备，包括：具有节流表面的第一块；具有互补节流表面的第二块，其中所述节流表面和所述互补节流表面相互协作以形成节流阀；形成于所述第一块或所述第二块中并提供通往所述节流阀的流体通道的流体入口孔；形成于所述第一块或所述第二块中并提供通往所述节流阀的流体通道的流体出口孔；提供于所述节流阀周围的密封件；并且其中通过所述第一块或所述第二块中的至少一个的弹性弯曲实现所述节流阀的开放量的改变。

专利地区：美国