脉冲激光器射频电源的数字脉宽调制控制专利登记公告

专利名称：脉冲激光器射频电源的数字脉宽调制控制

摘要：一种脉宽调制方法，用于控制由脉冲RF电源供电的脉冲气体放电激光器的输出功率，包括将数字脉冲序列传递给该RF电源。在该序列中的每一个脉冲具有逐渐改变的持续时间。设置该电源以传递在数量和持续时间上对应于接收到的数字脉冲序列的RF脉冲序列。能够通过逐渐改变在该数字脉冲序列中一个或多个数字脉冲的持续时间来改变在该RF脉冲序列中的平均功率。该RF脉冲序列用来对气体放电激光器供电。该气体放电激光器输出对应于该RF脉冲序列的脉冲序列。

专利类型：发明专利

专利号：CN201080046197.2

专利申请（专利权）人：相干公司

专利发明（设计）人：D·J·阿利

主权项：一种脉宽调制方法，用于控制气体放电激光器的RF电源的输出，包括：将其中具有预定数量脉冲的数字脉冲序列传递给该RF电源，在该序列中的每一个脉冲具有逐渐改变的持续时间；设置该电源以传递在数量和持续时间上对应于接收到的数字脉冲序列的RF脉冲序列，该RF脉冲序列具有基于该RF脉冲序列持续时间和在该序列中脉冲总计持续时间的平均功率；和逐渐改变在其序列中数字脉冲的一个或多个，但少于全部的持续时间来选择性改变在该相应RF脉冲序列中的平均功率。

专利地区：美国