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弹性表面波装置专利登记公告


专利名称:弹性表面波装置

摘要:本发明提供一种弹性表面波装置,其能够提高机电耦合系数,在用作频带滤波器的情况下,能够减小通频带内最大插入损耗。该弹性表面波装置在压电基板(2)上层叠有电极(3)以及电介质层(10),电极(3)具有由Pt、Au、Ag或者Cu构成的第1电极膜(3a)、和由Al构成的第2电极膜(3b),第1电极膜(3a)的标准化膜厚h/λ在Pt的情况下为0.005以上0.015以下,Al膜的标准化膜厚h/λ为0.06以上0.185以下,电介质层(10)的标准化膜厚h/λ被设为0.2以下。

专利类型:发明专利

专利号:CN201080046609.2

专利申请(专利权)人:株式会社村田制作所

专利发明(设计)人:中桥宪彦

主权项:一种弹性表面波装置,其具备:压电基板;IDT电极,其形成于所述压电基板上,具有Pt膜、和层叠在Pt膜上的Al膜;和电介质层,其在所述压电基板上按照覆盖所述IDT电极的方式设置,当假设弹性表面波的波长为λ时,所述Al膜的标准化膜厚h/λ为0.06≤h/λ≤0.185,所述Pt膜的标准化膜厚h/λ为0.005≤h/λ≤0.015,所述电介质层的标准化膜厚h/λ被设为所述IDT电极的标准化膜厚≤h/λ≤0.2。

专利地区:日本