高纯度氟气、其生产和用途、以及用于监测氟气中杂质的方法专利登记公告
专利名称：高纯度氟气、其生产和用途、以及用于监测氟气中杂质的方法
摘要：一种用于生产氟气的装置，该装置包括至少一个氟产生池、以及至少一个用于对该氟产生池所得到的产物的组分进行检测的氟产生池检测器，其中这些氟产生池中至少一个是与该氟产生池检测器相连。
专利类型：发明专利
专利号：CN201080046889.7
专利申请（专利权）人：苏威氟有限公司
专利发明（设计）人：霍尔格·珀尼斯;约翰内斯·艾歇尔;弗朗西斯·费斯;多米尼克·巴尔塔萨尔特;克里斯托弗·萨默;哈拉尔德·克鲁格
主权项：一种用于生产氟气的装置，该生产氟气的装置包括至少一个氟产生池、以及至少一个用于检测由该氟产生池得到的产物的组分的氟产生池检测器，其中所述氟产生池的至少一个与该氟产生池检测器相连。
专利地区：德国
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