利用扫描探针显微镜的材料表面的无磨损操作专利登记公告

专利名称：利用扫描探针显微镜的材料表面的无磨损操作

摘要：本发明涉及一种利用扫描探针显微镜或SPM(10)来扫描材料(50)的表面(52)的方法，SPM具有构造为表现出不同的弹簧行为(C，Ck)的悬臂传感器(100)，该方法包括：-在接触模式下操作SPM，由此在材料表面上扫描该扫描器并且通过由材料表面导致的该传感器的偏转激发该传感器的第一弹簧行为(C)(例如，其屈曲的基本模式)；以及-以悬臂传感器的第二弹簧行为(Ck)的谐振频率利用激发装置激发该传感器的第二弹簧行为(Ck)(例如，一种或多种更高阶谐振模式)，以调节该传感器和材料表面的相互作用并由此减小材料表面的

专利类型：发明专利

专利号：CN201080047075.5

专利申请（专利权）人：国际商业机器公司

专利发明（设计）人：U·T·迪瑞格;B·W·戈查曼;A·W·诺尔;M·A·兰茨

主权项：一种利用扫描探针显微镜或SPM(10)扫描材料(50)的表面(52)的方法，SPM具有构造为既表现出第一弹簧行为(C)又表现出第二、更硬的弹簧行为(Ck)的悬臂传感器(100)，该方法包括：?在接触模式下操作SPM，由此使所述传感器在材料表面上扫描并且通过由材料表面导致该传感器的偏转激发第一弹簧行为(C)；以及?以第二弹簧行为(Ck)的谐振频率利用激发装置激发第二弹簧行为(Ck)，以调节该传感器和材料表面的相互作用。

专利地区：美国