气体温湿度调节方法及气体供给装置专利登记公告

专利名称：气体温湿度调节方法及气体供给装置

摘要：在假设包含所希望的温度(Td)及相对湿度(Hd)时所应该包含的水蒸气量的气体，且将该气体的相对湿度达到100％的温度作为中间目标温度(Tc)时，根据所希望的温度(Td)及相对湿度(Hd)计算该中间目标温度(Tc)，通过混合气体与水蒸气，使气体的相对湿度上升到100％的同时，使该气体的温度上升到中间目标温度(Tc)，保持被加热到中间目标温度(Tc)的气体所含的水蒸气量的同时，将该气体加热到所希望的温度(Td)，从而将该气体的相对湿度调节为所希望的相对湿度(Hd)。由此能够稳定地供给保持为所希望的温度及湿度的

专利类型：发明专利

专利号：CN201080047164.X

专利申请（专利权）人：株式会社日立高新技术

专利发明（设计）人：大草武德;渡边节雄

主权项：一种气体温湿度调节方法气体温湿度调节方法，用于得到所希望的温度及相对湿度的气体，其特征在于，在假设包含上述所希望的温度及相对湿度时所应该包含的水蒸气量的气体，且将该气体的相对湿度达到100％的温度作为中间目标温度时，根据上述所希望的温度及相对湿度计算该中间目标温度，通过混合气体与水蒸气，使气体的相对湿度上升到100％的同时，使该气体的温度上升到上述中间目标温度，保持被加热到上述中间目标温度的气体所含的水蒸气量的同时，将该气体加热到上述所希望的温度，从而将该气体的相对湿度调节为上述所希望的相对湿度。

专利地区：日本