流控制器专利登记公告

专利名称：流控制器

摘要：一种流控制器(10)，其包括流速检测单元(14)和流速控制单元(18)，该流速检测单元(14)具有用于检测流体的流速的检测单元(12)，该流速控制单元(18)被联接到流速检测单元(14)并且能够调节流体的流速。组成检测单元(12)的检测传感器(18)包括利用MEMS技术的热流量传感器，由检测传感器(18)检测的流体的流速被输出到控制单元(24)。另外，在流速控制单元(18)中，空气至供应室(84)的供应状态通过供应电磁阀(92)和排出电磁阀(94)中其中一个被切换，并且根据空气的供应状态，打开和闭合控制阀

专利类型：发明专利

专利号：CN201080047325.5

专利申请（专利权）人：SMC株式会社

专利发明（设计）人：酒濑川刚;大岛裕太

主权项：一种流控制器，其特征在于，包含：本体(22，30)，所述本体(22，30)具有设置在上游侧的第一通道(20)、设置在所述第一通道(20)的下游侧的第二通道(62)、和设置在所述第一通道(20)和所述第二通道(62)之间的节流部(32)，流体流动经过所述第一通道(20)；流速检测器(14)，所述流速检测器(14)被设置在所述本体(22，30)上，并且具有检测单元(12)，所述检测单元(12)能够检测从所述第一通道(20)流到所述第二通道(62)的流体的流速；流速控制器(18)，所述流速控制器(18)用于控制

专利地区：日本