基板筒、基板处理装置、基板处理系统、基板处理方法、控制装置及显示元件的制造方法专利登记公告

专利名称：基板筒、基板处理装置、基板处理系统、基板处理方法、控制装置及显示元件的制造方法

摘要：基板筒(1)具备收纳片材基板(FB)的主体(2)和保持信息的信息保持部(IC)。保持部(IC)可以是IC芯片或者条形码。该信息涉及基板(FB)的规格(材质、厚度等)。该信息还涉及用于基板(FB)的工艺。该信息还涉及基板(FB)的缺陷。另外，该信息是用于识别主体(2)的信息。信息被显示在主体(2)的显示部(29)。主体(2)的装配部(3)与基板处理装置连接。装配部(3)具有端子(3C)，保持部(IC)与装置的控制部(104)之间的通信经由该端子进行。基板处理方法包括从筒(1)的保持部(IC)获得信息以及根据

专利类型：发明专利

专利号：CN201080048076.1

专利申请（专利权）人：株式会社尼康

专利发明（设计）人：井上英也

主权项：一种基板筒，其特征在于，具备：收纳基板的筒主体；和信息保持部，其保持至少包含与所述筒主体中收纳的所述基板的规格值有关的规格信息的信息。

专利地区：日本