用于制备碳化硅粉体的系统和方法专利登记公告
专利名称:用于制备碳化硅粉体的系统和方法
摘要:本发明公开了一种高纯碳化硅粉体的制备方法和系统。即,本发明的高纯碳化硅粉体的制备方法包括:在混合器中制备由硅源和碳源组成的混合物的步骤;和通过在大于0.03托且等于和小于0.5托的真空度和在等于或大于1300℃且等于和小于1900℃的温度下加热所述混合物来合成碳化硅(SiC)粉体的步骤。
专利类型:发明专利
专利号:CN201080048287.5
专利申请(专利权)人:LG伊诺特有限公司
专利发明(设计)人:金柄淑;韩姃恩;金相明
主权项:一种碳化硅粉体的制备方法,其特征在于:步骤(a),在混合器中制备由硅源和碳源组成的混合物;和步骤(b),通过在大于0.03托且等于和小于0.5托的真空度和在等于或大于1300℃且等于和小于1900℃的温度下加热所述混合物来合成碳化硅(SiC)粉体。
专利地区:韩国
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