基板处理装置以及显示元件的制造方法专利登记公告
专利名称：基板处理装置以及显示元件的制造方法
摘要：基板处理装置具备：处理部，其对基板进行规定的处理；和基板保持部，其相对处理部移动，并且在形成基板的被处理面的同时对基板进行保持。
专利类型：发明专利
专利号：CN201080048800.0
专利申请（专利权）人：株式会社尼康
专利发明（设计）人：宫地章;木内彻;奈良圭
主权项：一种基板处理装置，其特征在于，具备：处理部，其对基板进行规定的处理；和基板保持部，其相对所述处理部移动，并且一边形成所述基板的被处理面，一边保持所述基板。
专利地区：日本
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