压力传感器、特别是压力差传感器专利登记公告

专利名称：压力传感器、特别是压力差传感器

摘要：本发明的压力传感器包括至少一个平台、至少一个测量膜(30)和换能器，其中测量膜包括半导体材料，其中封装压力腔室的测量膜被紧固在平台上，其中测量膜与至少一个压力可接触并且以依赖压力的方式弹性地可变形，其中换能器提供依赖于测量膜的变形的电信号，其中平台具有膜床，测量膜在过载的情形下处于该膜床上从而支撑测量膜，其中膜床(21)具有玻璃层(20)，该玻璃层(20)的表面面对测量膜并且形成压力腔室的壁，其中玻璃层的表面具有适合于在过载的情形下支撑测量膜(30)的轮廓，其特征在于，通过在增加的温度下玻璃板的非支撑区域

专利类型：发明专利

专利号：CN201080048839.2

专利申请（专利权）人：恩德莱斯和豪瑟尔两合公司

专利发明（设计）人：蒂莫·科博;迈克尔·菲利普斯;迪特尔·施托尔塞;英·图安·塔姆;罗兰德·维尔特舒茨基

主权项：一种压力传感器，所述压力传感器包括至少一个平台、至少一个测量膜(30)和换能器，其中所述测量膜包括半导体材料，其中封装压力腔室的所述测量膜被紧固在所述平台上，其中所述测量膜与至少一个压力可接触并以依赖压力的方式弹性地可变形，其中所述换能器提供依赖于所述测量膜(30)的变形的电信号，其中所述平台具有膜床(21)，在过载的情形下所述测量膜处于所述膜床(21)上从而支撑所述测量膜，其中所述膜床具有玻璃层(20)，所述玻璃层(20)的表面面对所述测量膜(30)并且形成所述压力腔室的壁，其中所述玻璃层(20)的表面

专利地区：德国