引导部件、基板、基板筒、基板处理装置、引导部件连接方法、显示元件的制造方法及显示元件的制造装置专利登记公告
专利名称:引导部件、基板、基板筒、基板处理装置、引导部件连接方法、显示元件的制造方法及显示元件的制造装置
摘要:引导部件具备与基板连接的连接部、和被用于至少上述基板与上述连接部之间的对位的位置基准部。
专利类型:发明专利
专利号:CN201080049274.X
专利申请(专利权)人:株式会社尼康
专利发明(设计)人:浜田智秀;木内彻
主权项:一种引导部件,其特征在于,具备:连接部,其与基板连接;和位置基准部,其被用于至少所述基板与所述连接部之间的对位。
专利地区:日本
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