含硅涂料组合物及其使用方法专利登记公告

专利名称：含硅涂料组合物及其使用方法

摘要：本发明公开了涂料组合物，其包含其中R1为含硅结构部分，R2为酸稳定的内酯官能团，且R3为酸不稳定的内酯官能团；X1、X2、X3独立地为H或CH3；和m和o为非零正整数且n为零或正整数(表示重复单元数)的聚合物(I)、光酸产生剂和溶剂。本发明还公开了在含有相同组分的涂料组合物中形成图案的方法。

专利类型：发明专利

专利号：CN201080049821.4

专利申请（专利权）人：国际商业机器公司

专利发明（设计）人：R·苏里亚库马兰;R·D·艾伦;P·J·布洛克;S·A·斯万松;H·特鲁昂;K-J·陈;W-S·黄;A·弗里兹

主权项：一种涂料组合物，其包含含有如下结构的聚合物、光酸产生剂和溶剂：其中R1为含硅结构部分，R2为酸稳定的内酯官能团，且R3为酸不稳定的内酯官能团；X1、X2、X3独立地为H或CH3；和m和o为非零正整数且n为零或正整数，其表示重复单元数。FDA0000159864220000011.tif

专利地区：美国