低温泵及真空排气方法专利登记公告

专利名称：低温泵及真空排气方法

摘要：本发明提供一种低温泵及真空排气方法。本发明的低温泵（10）具备：第1低温板，具备具有屏蔽件开口（20）的放射屏蔽件（18）和配置于屏蔽件开口（20）的百叶窗（23）；第2低温板（24），被第1低温板包围；及制冷机（14），将第1低温板冷却至第1冷却温度，并将第2低温板冷却至低于第1冷却温度的第2冷却温度。百叶窗（23）上形成有粗糙面（42）。

专利类型：发明专利

专利号：CN201080050597.0

专利申请（专利权）人：住友重机械工业株式会社

专利发明（设计）人：田中秀和

主权项：一种低温泵，其特征在于，具备：第1低温板，具备具有开口部的放射屏蔽件和配置于所述开口部的挡板；第2低温板，被所述第1低温板包围；及制冷机，将所述第1低温板冷却至第1冷却温度，并将所述第2低温板冷却至低于第1冷却温度的第2冷却温度，在所述挡板上形成有粗糙面。

专利地区：日本