用于真空泵的抗腐蚀轴密封专利登记公告

专利名称：用于真空泵的抗腐蚀轴密封

摘要：一种用于从处理室泵送气体的真空泵，所述泵包括：转子，所述转子由驱动轴支撑以便在泵送室中旋转，所述轴延伸穿过泵送室的横向于驱动轴延伸的壁中的轴孔；和设置在轴和横向壁之间的密封装置，用于阻止气体通过轴孔，其中，在转子旋转时，气体从泵送室入口处的低压区域泵送到泵送室出口处的高压区域，且其中，所述转子和横向壁隔开一轴向间隙，气体向后泄漏能够从高压区域沿所述轴向间隙流向低压区域，且形成用于向后泄漏的附加泄漏路径，所述附加泄漏路径从密封装置隔开，气体能够沿着所述附加泄漏路径流动，而不与密封装置接触，从而减少在泵的使用

专利类型：发明专利

专利号：CN201080051166.6

专利申请（专利权）人：爱德华兹有限公司

专利发明（设计）人：P. J. 斯蒂芬斯

主权项：?一种用于从处理室泵送气体的真空泵，所述泵包括：转子，所述转子由驱动轴支撑以便在泵送室中旋转，所述轴延伸穿过泵送室的横向于驱动轴延伸的壁中的轴孔；和设置在轴和横向壁之间的密封装置，用于阻止气体通过轴孔，其中，在转子旋转时，气体从泵送室入口处的低压区域泵送到泵送室出口处的高压区域，以及其中，所述转子和横向壁隔开一轴向间隙，气体的向后泄漏能够沿所述轴向间隙从高压区域流向低压区域，且形成用于向后泄漏的附加泄漏路径，所述附加泄漏路径从密封装置隔开，气体能够沿着所述附加泄漏路径流动，而不与密封装置接触，从而减少在泵

专利地区：英国