包括钝化层的共振器、包括这种共振器的振动传感器以及制造方法专利登记公告

专利名称：包括钝化层的共振器、包括这种共振器的振动传感器以及制造方法

摘要：一种共振器(3)，该共振器包括硅基材料的本体，该本体具有至少一个共振部分(Z)，该至少一个共振部分(Z)包括覆盖于导电层(9)内的至少一个部分和未覆盖于导电层内的至少一个部分，该共振器的特征在于，未覆盖于导电层内的所述部分以如此方式覆盖于钝化层(10，10′)内，即，在共振部分内，硅基材料被导电层和钝化层的组合完全覆盖。本发明还提供一种振动传感器。

专利类型：发明专利

专利号：CN201080051782.1

专利申请（专利权）人：萨甘安全防护公司

专利发明（设计）人：P·凡德比克

主权项：一种共振器(3)，所述共振器包括硅基材料的本体，所述本体具有至少一个共振部分(Z)，所述至少一个共振部分(Z)包括覆盖于导电层(9)内的至少一个部分和未覆盖于导电层内的至少一个部分，所述共振器的特征在于，未覆盖于导电层内的所述部分以如此方式覆盖于钝化层(10，10′)内，即，在所述共振部分内，所述硅基材料被所述导电层和所述钝化层的组合完全覆盖。

专利地区：法国