用于能源节约的控制接口解决方案专利登记公告

专利名称：用于能源节约的控制接口解决方案

摘要：本发明提供用于电子装置制造系统的增强控制的方法和装置。在一些实施例中，集成辅助生产层系统可以经由装置的开放平台而使用以太网和/或RS232串行通信，以在电子装置制造期间实现减少的碳足迹。对于本示例，系统可以包括处理工具集和控制器，处理工具集和控制器由传感器或软件连接而与可以在一个或多个能量消耗状态下操作的一个或多个辅助生产层或本地工厂辅助系统进行互连。根据处理的需要，这些一个或多个辅助系统可以经由控制器在能量消耗的不同等级之间切换。对于许多辅助组件或系统而言，集成辅助生产层利用现有的信号输出，对其辅助组件

专利类型：发明专利

专利号：CN201080051956.4

专利申请（专利权）人：应用材料公司

专利发明（设计）人：优瑟夫·A·罗勒迪;马克西米·凯耶尔;托尼·唐;米罗斯拉夫·盖洛

主权项：一种用于为功率受管理的辅助生产层提供故障安全通信标准的装置，所述装置包括：辅助生产层，所述辅助生产层配置成：基于从控制器接收的一个或多个命令而在功率受管理状态下操作；从所述控制器接收心跳信号；和响应于对于规定的超时间隔没有接收到所述心跳信号，退出所述功率受管理状态并进入全功率操作状态。

专利地区：美国