硅倍半氧烷树脂的稳定化专利登记公告

专利名称：硅倍半氧烷树脂的稳定化

摘要：公开了用亲水抑制剂稳定的、含有自由基可固化的官能团的硅倍半氧烷树脂组合物。具有清除自由基的能力的亲水抑制剂如抗坏血酸或水杨酸被用于稳定该树脂。该树脂在半导体形成中是有用的，例如用于抗反射涂层、硬掩模或光致抗蚀剂层。

专利类型：发明专利

专利号：CN201080053018.8

专利申请（专利权）人：道康宁公司

专利发明（设计）人：安德鲁·麦克米兰;E·S·梅尔;迈克尔·罗伯特·雷特;竹内香须美;S·王;C·耶克尔

主权项：一种稳定的硅倍半氧烷树脂组合物，包括(I)硅倍半氧烷树脂，其包括：(a)(RSiO(3?x)/2(OR’)x)m单元其中R是选自包含例如甲基丙烯酰氧基丙基、丙烯酰氧基丙基的丙烯酰氧基官能团、或苯乙烯官能团的基团的活性有机基团，R’是氢原子或具有1至4个碳原子的烃基；和(b)任选地以下单元的一个或任何组合(R1SiO(3?x)/2(OR’)x)n(R2SiO(3?x)/2(OR’)x)o(Ph(CH2)sSiO(3?x)/2(OR’)x)p(R3R4SiO)q(SiO(4?x)/2(OR’)x)r其中R1是

专利地区：美国