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薄膜贴附装置及贴附方法专利登记公告


专利名称:薄膜贴附装置及贴附方法

摘要:本发明的薄膜贴附装置包括:基板吸附单元,具有供基板吸附的基板吸附板及基板运送用回转台,所述基板运送用回转台供所述基板吸附板能移动地加装,为把所述基板吸附板移动到贴附位置而旋转;薄膜吸附单元,具有薄膜吸附板、薄膜运送用回转台及薄膜吸附板倾摆装置,其中,所述薄膜吸附板供将贴附于所述基板的薄膜吸附,所述薄膜运送用回转台供所述薄膜吸附板加装,为把所述薄膜吸附板移动到所述贴附位置而旋转,使所述薄膜吸附板与所述基板吸附板面对面,所述薄膜吸附板倾摆装置加装于所述薄膜运送用回转台,使移动到所述贴附位置的所述薄膜吸附板向所

专利类型:发明专利

专利号:CN201080055049.7

专利申请(专利权)人:韩东熙

专利发明(设计)人:韩东熙

主权项:一种薄膜贴附装置,其特征在于,包括:基板吸附单元,具有供基板吸附的基板吸附板及基板运送用回转台,所述基板运送用回转台供所述基板吸附板能移动地加装,为把所述基板吸附板移动到贴附位置而旋转;薄膜吸附单元,具有薄膜吸附板、薄膜运送用回转台及薄膜吸附板倾摆装置,其中,所述薄膜吸附板供将贴附于所述基板的薄膜吸附,所述薄膜运送用回转台供所述薄膜吸附板加装,为把所述薄膜吸附板移动到所述贴附位置而旋转,使所述薄膜吸附板与所述基板吸附板面对面,所述薄膜吸附板倾摆装置加装于所述薄膜运送用回转台,使移动到所述贴附位置的所述薄膜

专利地区:韩国