矩阵配置处理用的处理多工件的系统及其方法专利登记公告

专利名称：矩阵配置处理用的处理多工件的系统及其方法

摘要：一种系统，用以将工件装载至处理腔室而在矩阵配置中处理的系统，包括输送机、工件旅舍、选取片。配置输送机而以线性方式运输多个工件；配置工件旅舍以从输送机接收多工件。此工件旅舍包括以N行M层排列的单元矩阵；配置选取片以插入旅舍并自旅舍退回，以将多个基材从第一层卸载至选取片的单一列上，并重复此卸载操作以形成矩阵，此矩阵包括多个列而配置在选取片上的基材。在一例中，此工件旅舍具有交错的配置，此交错的配置提供了各个旅舍单元的各别可达性。

专利类型：发明专利

专利号：CN201080055596.5

专利申请（专利权）人：瓦里安半导体设备公司

专利发明（设计）人：威廉·T·维弗;贾麦·A·凯瑞儿;罗伯特·B·宝佩特;亚隆·威波;查理斯·T·卡尔森

主权项：一种用以装载工件至处理腔室的系统，包括：工件旅舍，由以N行M层排列的单元矩阵所定义，配置各个所述单元以接收工件；以及选取片，配置用以插入所述工件旅舍，并自所述工件旅舍退回，其中所述选取片可操作而将多个所述工件从所述M层的第一层卸载至所述选取片上，并重复所述卸载操作以形成矩阵，所述矩阵包括多个列的工件，所述多个列的工件配置在所述选取片上。

专利地区：美国