多级真空泵专利登记公告

专利名称：多级真空泵

摘要：目的在于提供一种能够维持高压缩效率，且能够抑制脉动和动力变动的多级真空泵。一种多级真空泵，在被多级连结的各泵室配置有安装于轴的一对转子，一对转子彼此啮合并旋转，从而对吸入的气体进行压缩并排气，其中，对于从泵室的吸气到排气的1冲程的转子的旋转角度C和转子的级数S而言，相邻的泵室的转子的相位角Δθ满足Δθ≤C/S，并且在从基准位置到排气侧凹部的敞开开始点的转子角度为ψ，从气体流动方向上游侧开始，第1级的转子角度为ψ1，第m级的转子角度为ψm，第n级的转子角度为ψn时，以满足ψ1≤ψm≤ψn且ψ1＜ψn的关系的

专利类型：发明专利

专利号：CN201080056816.6

专利申请（专利权）人：阿耐思特岩田株式会社

专利发明（设计）人：谷川志郎

主权项：一种多级真空泵，通过壳体和隔板来形成有多个泵室，经由形成于所述隔板的气体通路将所述多个泵室连结，在各所述泵室配置有安装于轴的一对转子，所述一对转子彼此啮合并旋转，从而对吸入的气体进行压缩，并利用与所述气体通路连通的排气侧凹部进行排气，所述多级真空泵的特征在于，对于从所述泵室的吸气到排气的1冲程的所述转子的旋转角度C和所述转子的级数S而言，相邻的所述泵室的转子的相位角Δθ满足Δθ≤C/S，并且在从基准位置到所述排气侧凹部的敞开开始点的转子角度为ψ，从气体流动方向上游侧开始，第1级的转子角度为ψ1，第m级的转

专利地区：日本