两端子可变电容微机电系统装置专利登记公告
专利名称:两端子可变电容微机电系统装置
摘要:本发明描述一种两端子可变电容装置,其是通过并联连接具有不同致动或“吸合”电压的多个MEMS装置而建构。
专利类型:发明专利
专利号:CN201080057458.0
专利申请(专利权)人:高通MEMS科技公司
专利发明(设计)人:蓝吉雄;叶夫根尼·古塞夫;埃内斯特·塔达西·奥萨基
主权项:一种可变电容装置,其包括多个并联连接的MEMS装置,所述MEMS装置的特征为使所述MEMS装置中的若干对应MEMS装置在松弛状态与致动状态之间转变的多个不同致动电压,其中所述多个MEMS装置是使用在所述MEMS装置之间的指定装置变化而配置,使得所述可变电容装置的特征为包含多个施加电压范围的电容对电压特征,其中所述可变电容装置的对应电容变化速率大体上小于由所述可变电容装置的最小电容值与最大电容值之间的所述电容对电压特征所表示的平均电容变化速率。
专利地区:美国
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