耐老化特性优良的振子用电极材料及使用该材料的压电振子、以及由该材料构成的溅射靶材专利登记公告

专利名称：耐老化特性优良的振子用电极材料及使用该材料的压电振子、以及由该材料构成的溅射靶材

摘要：本发明提供能够使振子的制造时不均性及耐老化性比Au良好、成本比Au低的电极材料。本发明为振子用电极材料，其由Au和两种金属M1、M2形成的三元类合金构成，用作在压电片中激发振动的激励电极，其中上述两种金属M1、M2为以下金属：(a)金属M1：压电振子的频率经时特性(Δf1/f1)相对于基准值f1有减小的倾向的金属；(b)金属M2：压电振子的频率经时特性(Δf1/f1)相对于基准值f1有增加的倾向的金属。优选金属M1为Ag、Al、Ni，金属M2为Pd、Ru、Pt、Ir、Rh、Cu。

专利类型：发明专利

专利号：CN201080059290.7

专利申请（专利权）人：日本电波工业株式会社;田中贵金属工业株式会社

专利发明（设计）人：小柏俊典;栗田昌昭;照井贵志;寒江威元;赤根克典;冈本谦藏;上木健一;武田翔平

主权项：一种振子用电极材料，其由Au和两种金属M1、M2形成的三元类合金构成，用作在压电片中激发振动的激励电极，其特征在于，所述两种金属M1、M2为具有下述特性的金属；(a)金属M1：压电振子的频率经时特性(Δf1/f1)相对于基准值f1有减小的倾向的金属；(b)金属M2：压电振子的频率经时特性(Δf1/f1)相对于基准值f1有增加的倾向的金属；其中，基准值f1为密闭封装时的振动频率，Δf1为经过时间后的振动频率与基准值f1的差频。

专利地区：日本