太阳能电池单元的制造方法专利登记公告

专利名称：太阳能电池单元的制造方法

摘要：一种太阳能电池单元的制造方法，包括在半导体基板（1）的一个主面上涂布含有金属氧化物和金属氧化物前体中的至少一者的防反射膜形成用溶液（5a）的工序、和对涂布有防反射膜形成用溶液（5a）的半导体基板（1）进行加热的工序，在涂布防反射膜形成用溶液（5a）的工序中，防反射膜形成用溶液（5a）在水含量为0g/m3～9.4g/m3的环境下涂布。

专利类型：发明专利

专利号：CN201080059615.1

专利申请（专利权）人：夏普株式会社

专利发明（设计）人：桥本敬宏

主权项：一种太阳能电池单元的制造方法，包括在半导体基板（1）的一个主面上涂布含有金属氧化物和金属氧化物前体中的至少一者的防反射膜形成用溶液（5a）的工序、以及对涂布有所述防反射膜形成用溶液（5a）的所述半导体基板（1）进行加热的工序，在涂布所述防反射膜形成用溶液（5a）的工序中，所述防反射膜形成用溶液（5a）在水含量为0g/m3～9.4g/m3的环境下涂布。

专利地区：日本