基板用涂布装置及基板涂布方法专利登记公告

专利名称：基板用涂布装置及基板涂布方法

摘要：基板用涂布装置(10)具有：精密载物台(7)、喷嘴(8)、传送带(3~6、21)。精密载物台(7)水平设置有放置基板W的放置面，沿着传送方向在上游端和下游端之间自由往返移动。传送带(3~6、21)以基板W的表面位于水平面内的方式沿着规定的传送方向经由精密载物台(7)的放置面传送基板W。中间传送带(21)在传送面与载物台的放置面一致的传送位置、和传送面比载物台的放置面靠下方的非传送位置之间自由升降。

专利类型：发明专利

专利号：CN201080059809.1

专利申请（专利权）人：龙云株式会社

专利发明（设计）人：田边雅明;平田英生;织田光德

主权项：一种基板用涂布装置，具有：载物台，水平设置有放置基板的放置面，沿着传送方向在规定范围内自由往返移动；喷嘴，具有向下方喷出涂布液的狭缝，该狭缝与上述传送方向正交；传送带，以基板的表面位于水平面内的方式沿着上述传送方向经由上述放置面传送基板，该传送带的至少上述规定范围的长度的中间部自由升降；载物台移动单元，使上述载物台在上述规定范围内的上游端和下游端之间往返移动；传送带升降单元，使上述传送带的中间部在传送面与上述放置面一致的传送位置、和传送面比上述放置面靠下方的非传送位置之间升降；和控制部，构成为控制上述载物

专利地区：日本