生产四氟化硅的方法专利登记公告
专利名称:生产四氟化硅的方法
摘要:生产四氟化硅的方法,任选在硅源存在下酸消解碱金属或碱土金属和铝的氟化物盐;生产硅烷的方法,包括酸消解硅烷生产的副产物以产生四氟化硅。
专利类型:发明专利
专利号:CN201080060027.X
专利申请(专利权)人:MEMC电子材料有限公司
专利发明(设计)人:S·布萨拉普;P·古普塔
主权项:生产四氟化硅的方法,所述方法包括:使包含至少大约30重量%碱金属或碱土金属和铝的氟化物盐的氟铝酸盐进料、酸和硅源接触,以产生四氟化硅和至少一种副产物。
专利地区:美国
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