步进电机的控制方法、装置及阻抗匹配器专利登记公告

专利名称：步进电机的控制方法、装置及阻抗匹配器

摘要：本发明提供一种步进电机的控制方法、装置及等阻抗匹配器，其中，方法包括：根据匹配网络的输入阻抗与功率源的输出阻抗之间的阻抗差计算步进电机的运行周期的算法步进调整量；根据所述步进电机上一运行周期的实际步进调整量和所述运行周期的算法步进调整量获得所述运行周期的实际步进调整量；根据所述运行周期的实际步进调整量来调整所述步进电机的运行速度，以控制所述步进电机在所述运行周期内以调整后的运行速度恒速运转。本发明的技术方案按照阶梯增量变速算法来调整步进电机的运行速度，精确控制步进电机的运行速度，避免步进电机在启动、停止或

专利类型：发明专利

专利号：CN201110021619.7

专利申请（专利权）人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司

专利发明（设计）人：刘建生

主权项：一种步进电机的控制方法，其特征在于，包括：根据匹配网络的输入阻抗与功率源的输出阻抗之间的阻抗差计算步进电机的运行周期的算法步进调整量；根据所述步进电机上一运行周期的实际步进调整量和所述运行周期的算法步进调整量获得所述运行周期的实际步进调整量；根据所述运行周期的实际步进调整量来调整所述步进电机的运行速度，以控制所述步进电机在所述运行周期内以调整后的运行速度恒速运转。

专利地区：北京