一种研磨垫及其制备方法、使用方法专利登记公告

专利名称：一种研磨垫及其制备方法、使用方法

摘要：一种研磨垫，包括：基底和固结在所述基底上的若干分立的磨料块，所述磨料块具有至少两种高度。本发明利用具有至少两种高度的磨料块，使得研磨垫在研磨晶圆的过程中，不会因为长时间的研磨导致研磨速率大幅下降，从而使得晶圆的研磨程度易于精确控制，提高了晶圆研磨的效果及良率。本发明还提供一种制备所述研磨垫的方法，利用该方法可以方便地制备本发明的研磨垫。相应地，本发明还提供应用所述研磨垫进行研磨的使用方法。

专利类型：发明专利