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经表面改质的感测元件及其表面改质方法专利登记公告


专利名称:经表面改质的感测元件及其表面改质方法

摘要:本发明是有关于一种感测元件的表面改质方法,包括以下步骤:提供一感测元件,其中,该感测元件表面具有一金属薄膜;利用异丙醇等离子体,于该感测元件的该金属薄膜上,形成一具有多个羧基的表面改质层;以及于该表面改质层上,形成一聚丙烯酸层,其中,该聚丙烯酸层的聚丙烯酸是接枝于该表面改质层的所述羧基。本发明另关于一种经表面改质的感测元件。

专利类型:发明专利

专利号:CN201110030438.0

专利申请(专利权)人:福华电子股份有限公司

专利发明(设计)人:张舒婷;叶筱玲;曹育嘉;张荣监;曹嘉惠;陈克绍

主权项:一种感测元件的表面改质方法,包括以下步骤:提供一感测元件,其中,该感测元件表面具有一金属薄膜;利用异丙醇等离子体,于该感测元件的该金属薄膜上,形成一具有多个羧基的表面改质层;以及于该表面改质层上,形成一聚丙烯酸层,其中,该聚丙烯酸层的聚丙烯酸接枝于该表面改质层的所述羧基。

专利地区:台湾