光学自由曲面干涉检测装置专利登记公告

专利名称：光学自由曲面干涉检测装置

摘要：本发明公开了一种光学自由曲面干涉检测装置，采用点光源阵列产生多视场倾斜波面，照明被测自由曲面，位于光轴上的点光源始终点亮作为参考光，获得的多视场干涉图按移相干涉技术复原得到子区域波面数据；用标准球面标定CCD像素与多视场干涉图之间的位置关系，测量自由曲面时，多视场干涉图位置发生偏移，由偏移量得到波面倾斜信息；根据倾斜信息与多视场子区域波面数据重构被测面面形信息。根据被测面特征产生可控点源阵列点亮方案，本发明的装置可覆盖包括较多测试对象（凸凹非球面、自由曲面）。本发明克服了现有自由曲面检测方法单一性和高成本

专利类型：发明专利

专利号：CN201110044698.3

专利申请（专利权）人：南京理工大学

专利发明（设计）人：高志山;倪江楠;袁群

主权项：一种光学自由曲面干涉检测装置，其特征在于：包括激光器[1]、扩束系统[2]、可控微透镜点源阵列[3]、分光棱镜[4]、标准球面透镜组[5]、移相器[6]、小孔光阑[8]、成像透镜[9]、电荷耦合器件CCD[10]、监视器[11]和计算机[12]；激光器[1]后面放置扩束系统[2]，扩束系统[2]后放置可控微透镜点源阵列[3]，可控微透镜点源阵列[3]后面放置分光棱镜[4]，经分光棱镜[4]后光路结构分为两路，一路是分光棱镜[4]后放置标准球面透镜组[5]，移相器[6]与标准球面透镜组[5]相连接驱动标准球

专利地区：江苏